UPTECH二氧化碳CO2发泡机 超纯水防静电装置

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* 其他专用设备
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UPTECH二氧化碳CO2发泡机 超纯水防静电装置,产品,半导体制造专区,晶圆芯片专用设备,* 其他专用设备
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最后更新:
2016-11-29 18:14
  • 公司名称:
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  • 联系固话:021-58210030
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产品详细说明

  • 品牌: UPTECH
  • 型号: UPC-1000L/UPC-2000L
  • 包装: 标准
  • 规格: 尺寸540×400×1300
  • 起订:1 台
  • 供货总量:1000 台
  • 发货期限: 自买家付款之日起 90 天内发货
  • 所在地: 上海 上海
  • 有效期至: 长期有效
 

型号:UPC-1000L/UPC-2000L

制造商:UPTECH

 

设备用途: 二氧化碳发泡机,又称超纯水防静电装置,去离子水电阻 率调节装置,加碳机等等。 其原理是向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳,在水中产 生适量的离子增强超纯水的导电性,降低超纯水的电阻率 防止在划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤 产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净,最后烘干后二 氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染。 二氧化碳发泡机,可有效控制微电子工业生产制程中的静 电微害,防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤,防 止静电破坏和微粒子的附着,大大提高产品良品率,降低 生产成本。

 

设备原理: 设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2无污 染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均 匀溶解到水里,而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特 制膜将CO2气体和超纯水隔开,通过设备中的精密调节 装置可以控制CO2在水中的溶解量,从而实现精确控制 水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到

 

0.2-18MΩ·cm范围内。设备特点: 设备操作简单,使用方便,故障率低

 

用气省,采用隔水气体膜式注入CO2,不产生气泡,另外除了隔4小时需要排1秒钟水气时 带出的CO2外,基本不浪费CO2。

产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.2-2MΩ·cm范围内 水流量变化情况下,可将电阻率变化范围控制在±0.1MΩ·cm内 适用行业:

 

此设备是用于半导体制造和FPD制造、晶圆和芯片切割工序的必备设备。




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