QU系列探针主要用于THz波导至微带转换，是THz产品核心元器件开发的必要部件。探针采用石英（二氧化硅）为探针基板，结构稳固，热稳定性 好，满足微波电路中低损耗的使用要求；探针采用高精度深紫外光刻技术和磁控溅射技术成型，加工精度高达4微米，金属层材料：Ti/Au，金属层厚度 2um。
波导探针
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- 波导探针,产品,MEMS及纳米专区,MEMS制造,* 其他耗材
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- 2016-07-23 11:42
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