电子束曝光系统

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* MEMS设备
关 键 词:
电子束曝光系统,产品,MEMS及纳米专区,MEMS制造,* MEMS设备
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最后更新:
2016-07-23 11:19
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产品详细说明

  • 品牌: 中国科学院物理研究所微加工实验室
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  • 所在地: 上海 上海
  • 有效期至: 长期有效

为适应凝聚态物理与相关交叉学科研究的需求,探索在 纳米尺度下物质的变化规律、新奇的物理性质和在信息、能源、生物等领域的应用,促进国家在纳米科学与技术领域的发展,物理所微加工实验室于2002年底建 成,并开始提供技术服务。特别是2008年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台”,2009年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010年成为基 金委纳米制造重大研究计划联合实验室后,她不仅已发展成为面向国内外的技术服务平台,也为国内微纳加工技术和人才的交流提供了大量的机遇。

微加工实验室作为公共技术平台,它的主要任务是:适 合于在纳米尺度上凝聚态物理基础和应用基础研究的多样性要求;以积极灵活的方式服务于物理所所内的研究课题和国内外其它研究单位,并产生高水平的研究成 果,促进物理所及我国的基础物理与应用物理研究,促进我国纳米科技的发展,成为国内微加工技术与学术交流和人才培养的重要基地。它将使物理所凝聚态物理研 究的能力得到实质性提高,促进我国纳米物理与纳米器件物理的发展。微加工实验室开放的运行机制将为所内外的学术交流、合作研究提供便利条件和技术平台。

微加工实验室现有固定人员9人,其中研究员1人,主 任工程师2人,副主任工程师4人,工程师2人。在读研究生共12人,是一支以青年人为主的富有活力的研究集体。学术委员会和顾问委员会由32名国内外专家 构成,物理所解思深院士任学术委员会主任,负责指导和建议实验室的研究方向,管理制度与运行模式。

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