设备描述
l 此装置是一个手动的处理设备。
l 每个槽前上方对应操作按钮，与触摸屏（PROFACE/OMRON)互相配合
l 主体材料：德国进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
l 台面板为德国10mm PP板；
l DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足18MW去离子水水质要求，酸碱管路材质为进口PFA/PVDF；
l 采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成
l 排风：位于机台后上部
l 工作照明：上方防酸照明
l 安全考虑：
1. 设有EMO(急停装置)，
2. 强电弱点隔离
3. 所有电磁阀均高于工作槽体工作液面
4. 电控箱正压装置（CDA Purge）
5. 设备三层防漏 楼盘倾斜 漏液报警 设备整体置于防漏托盘内
6. 排放管路加过滤装置
l 所有槽体折弯成型，可有效避免死角颗粒;
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司(CSE------www.hlcas.com)由中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资成立于2008年3月，投资4500万元。主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备的研发、技术推广和生产销售。
苏州华林科纳公司通过与国际上知名公司的广泛合作，目前已形成湿法清洗系统 刻蚀系统CDS系统 尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域，以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。
苏州华林科纳于2014年11月份设立了分公司“南通华林科纳半导体设备有限公司(CSE------www.hlkncse.com)”，经营范围：半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销售，以及相关技术推广，自营和代理上述商品及技术的进出口业务。
