IPA干燥系统

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IPA干燥系统,产品,半导体制造专区,晶圆制造企业,* 其它
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2016-07-25 10:00
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  • 联 系 人:徐竹林(先生)
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产品详细说明

  • 品牌: IPA干燥机
  • 尺寸: 700 x 1500 x 2200
  • 标准电压: 3 x 380 VAC
  • 额定功率: 50 Hz
  • 起订:
  • 供货总量:
  • 发货期限: 自买家付款之日起 50 天内发货
  • 所在地: 江苏 苏州市
  • 有效期至: 长期有效
IPA干燥系统 外观02_副本

 IPA 干燥系统

适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术 

优点

NID干燥系统利用IPAN2雾化分配,以及晶圆与水脱离时形成了表面张力干燥的技术

适用于最大尺寸300mm晶圆的干燥技术

> 可单台设备或整合在湿法设备中

> 最佳的占地

> 成熟的工艺

> 无水迹

> 无碎片

 

特征和优点

应用

抛光片、集成电路、MEMESLED、光伏、玻璃基片

一般特征

> 可同时干燥2550片直径最大为300mm的晶圆

> 适用于标准高边或低边花篮

 

规格

工艺时间: 一般< 10 分钟,受所选工艺菜单而变化

亲水性晶圆片: ≤ 10 增加 @ 0.12 μm

疏水性晶圆片: ≤ 30 增加 @ 0.12 μm

金属含量: 任何金属≤ 11010 atoms / cm2 增加

干燥斑点: 干燥后无斑点

IPA 消耗量: 30 ml / run

去边缘: 3 mm

 

图形化的用户界面

> 基于B&R plc

> 可编辑菜单

> 自动记录(EOR, ERR etc.

> 多等级密码

 

一般安装参数

尺寸: 700 x 1500 x 2200 ( x 宽 x 高)

标准电压: 3 x 380 VAC

额定功率: 50 Hz

苏州华林科纳半导体设备技术有限公司(CSE------www.hlcas.com)由中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资成立于2008年3月,投资4500万元。主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备的研发、技术推广和生产销售。 

苏州华林科纳公司通过与国际上知名公司的广泛合作,目前已形成湿法清洗系统 刻蚀系统CDS系统 尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品,广泛用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域,以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。

苏州华林科纳于2014年11月份设立了分公司“南通华林科纳半导体设备有限公司(CSE------www.hlkncse.com)”,经营范围半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销售,以及相关技术推广,自营和代理上述商品及技术的进出口业务。

 

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